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展商精选丨上海先普,专注气体纯化服务赋能半导体行业

作者:admin 发布日期:2023-07-04  浏览次数:0

公司简介

上海先普气体技术有限公司(展位号:3D50)于2004年在上海成立,是一家专业从事应用于半导体行业的气体纯化设备供应商。在充分掌握国际先进气体纯化核心技术的基础上,通过不断的研究创新,经历十九年国产化道路,目前公司已持有六十项专利,主笔起草一项国家标准,自主开发了十几个系列上百种产品,纯度可提供9N、7N两种级别,其中压力范围从1.0MPa的常压到24MPa的高压,流量范围从五百毫升每分钟到两万立方米每小时。

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先普凭借着过硬的研发能力、工程能力,现已成为国内第一大气体纯化设备供应商和全球第二大POU气体纯化器供应商。

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推荐产品

先普的产品围绕气体微污染控制行业,服务客户主要为半导体行业,为国内半导体行业“卡脖子”问题提供专业的解决方案。先普通过不断研究创新,已获得六十余项专利证书,自主开发了十几个系列上百种产品,纯度可提供9N、7N两种级别,其中压力范围从1.0Mpa的常压到24Mpa的高压,流量范围从几百毫升每分钟到上万立方米每小时,主要产品为先普纯化器、先普过滤器。

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先普纯化器

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先普过滤
1、先普的XCDA和CO2纯化器,已为成功应用于若干12寸线先进制程的大型半导体芯片制造工厂的光刻工艺,实现了国产替代。
2、先普的POU纯化器,已广泛应用和配套于众多半导体芯片工厂的工艺设备,如外延,CVD,MOCVD等,实现了国产替代。

3、先普的大宗气体(N2, H2, O2, Ar, He, CDA)气体纯化设备,持续不断地向12寸、8寸半导体芯片工厂和化合物半导体工厂交付和投用,实现了国产替代。