北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯泰科”）在高端科学仪器领域自主研发创新领域再获重大突破。3月10日，“致知力行 踵事增华--莱伯泰科半导体行业三重四极杆质谱新品发布会”在莱伯泰科北京总部隆重举行，重磅推出针对于半导体行业研发生产的LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体质谱仪。

莱伯泰科质谱事业部高级应用经理王娟为与会嘉宾详细介绍了LabMS 5000 ICP-MS/MS的关键技术和核心性能。LabMS 5000搭载莱伯泰科成熟的前处理技术，按照行业的需求进行了定制化的设计，对于半导体行业对灵敏度要求极高的需求，LabMS 5000可胜任超痕量元素分析，并能确保分析结果更加准确可靠。

3月12日，莱伯泰科发布公告称，LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工业标准27MHz固态发生器，具有极高的系统稳定性;使用MS/MS模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。目前该产品已取得订单并实现发货。

LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2、SEMI E78认证，助力半导体芯片企业制造商控制产品质量，提升良率。

公告称，2021年5月20日，莱伯泰科正式对外发布了电感耦合等离子体质谱仪LabMS 3000 ICP-MS并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产ICP-MS在半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。

LabMS 5000 ICPMS/MS是在LabMS 3000 ICP-MS产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪，主要用于无机元素检测。目前国内半导体行业用于无机元素检测的三重四极杆质谱仪以进口产品为主，公司自主研发的该产品能够实现国产替代。LabMS 5000 ICP-MS/MS产品的成功研发，体现了莱伯泰科在高端科学仪器领域的自主研发创新能力，进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用领域。本次新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发展将产生积极的影响。（文章来源：莱伯泰科、公告）